1.4.4 微机电系统在其他工业中的应用及展望

MEMS技术及其相关产品有着非常广泛的用途，除了以上主要应用领域，还有以下几个比较典型的应用：

①在电信中的应用：用于通信、多媒体、网络和智能等领域中的MEMS技术可以取代传统的信息器件实现系统的微小型化和性能的更新换代，已经形成产业的有微透镜、硬盘读写头、喷墨打印机、数字微镜光调制器、光开关、光纤耦合器、射频开关以及可调谐振器等。

② 在消费产品中的应用：例如潜水表和计算机、自行车计算机、带有液面控制的洗衣机、智能玩具、带有可自动调整的刷轮真空吸尘等。

③ 在工业产品中的应用：如过程压力传送器、液压系统、农业喷雾、冷却系统、加热通风和空调系统、电话电缆泄漏电检测等。

除上述外，也还有许多相关应用，如手机内的无线射频（RF）组件，消费性电子（CE）所用的微型麦克风（MIC）、微型喇叭（SPK，也称扬声器）等，统统是运用MEMS技术所实现。从各层面看，MEMS未来尚有更多的可以运用及实现，例如在医疗上可以有智能型胶囊，可用来治疗细微的血管、神经等疾病，或如智能型灰尘（Smart Dust）可进行环境监控等，可以想象与发挥的应用仍然相当宽广，有待更成熟技术来逐项实现。更令人兴奋的是，MEMS技术持续精缩发展的结果，将逐渐迈入纳米尺寸等级的层次，届时MEMS一词将不再受用，应当改成“纳机电，Nano Electro⁃Mechanical Systems，NEMS”，同时更精缩化也意味着有更多的应用可能，由此可知MEMS的未来将无可限量。