1.2　传感器的分类

传感器的分类方法较多，按被测量可以分为物理量（如压力、加速度、温度、流量等）传感器、化学量（如湿度、气体等）传感器、生物量（如酶等）传感器等；按原理可以分为压阻式传感器、压电式传感器、谐振式传感器等；按工艺平台可以分为MEMS传感器、HTCC传感器等；按材料可以分为硅传感器、陶瓷传感器、高分子传感器、光纤传感器等。这些分类不是对立的，因此有时为了使表征更清晰，会同时使用两种以上分类，如MEMS谐振压力传感器、光纤振动传感器等。