第六节 制定单晶硅、多晶硅制绒工艺作业指导书

根据制绒工艺操作流程,由学生负责制定单晶硅、多晶硅制绒工艺作业指导书。作业指导书的形式如表2-5所示。

表2-5 单晶硅、多晶硅制绒工艺作业指导书